如果雾化吸入是利用氧气作为驱动力的来源，氧流量按照指南、共识要求6-8L/min。氧流量1L/min时也会产生雾化的气流，氧流量3L/min时雾化气流可能会多，氧流量5L/min时气流更多，但标准要求氧流量在6L/min以上。这样产生的药物颗粒在5-10μm，有效的颗粒容易沉积在深部的支气管与肺里，发挥相应的即时抗炎、扩张支气管的作用。如果颗粒过大沉积在口腔里，不能进入肺里，或者颗粒过小容易被呼出，不能起到抗炎、扩张支气管的作用。如果氧流量设置过大，虽然颗粒较小，但是会加重患者二氧化碳潴留，因此氧流量以6-8L/min为宜。